純水和超純水廣泛用于電廠、電子、醫藥、化工行業，通過各種膜的過濾或離子交換作用，將水中的有害離子去除。

電廠：電廠多用的脫鹽水，其脫鹽水水質的主要指標為：硬度約等于零，電導率≤0.2μs.cm，SiO2≤20ppb。

化工廠：化工用水多種多樣，通常水質不會比電廠水質要求高，但可能會對某些離子有要求，所以常用一級或二級反滲透工藝。出水水質電導為5~10μs.cm以上。如有更高的要求則后面加混床或EDI。

醫藥：醫藥用水多對電導和細菌作要求，對系統所用材料材質有要求，多選用不銹鋼產品。通常純水后要加殺菌消毒裝置。

電子行業：電子行業對水的要求是較高的，多數電子用水要求達到18兆。對電阻率的要求只是電子用水的一小部分，它對其中很多離子都有較高要求，所以對安裝材料及管道有特殊要求。選用工藝也是較復雜的。通常要在EDI后加拋光混床及超濾、殺菌、氮封水箱等裝置，造價也很高。